有機薄膜晶體管開關器件

2003年

應用技術

成果簡介

該發(fā)明專利是一種有機薄膜晶體管開關器件及制作方法。其工藝為將含有遮光層的頂電極構型器件的源漏電極置于有機半導體層之上，其中，柵極在基板上，絕緣層在柵極和基板上，有機半導體層在絕緣層上，低介電有機光刻膠島在有機層上，源極和漏極在絕緣層和有機半導體層上，遮光層在光刻膠島上；在基板上濺射一層金屬并光刻成柵電極；真空熱蒸發(fā)有機半導體材料作為有源層并光刻，采用干法RIE反應離子刻蝕成型；涂光刻膠，以柵極為掩...

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有機薄膜晶體管開關器件

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