該課題確定了在不同負(fù)載下,高頻介質(zhì)加熱設(shè)備與負(fù)載匹配的匹配條件與方法。高頻加熱設(shè)備的負(fù)載處于臨界狀態(tài)或超出高頻加熱設(shè)備對(duì)負(fù)載匹配調(diào)整范圍時(shí),在高頻加熱設(shè)備與負(fù)載之間加入匹配電路,使高頻加熱設(shè)備與負(fù)載達(dá)到匹配的目的。高頻加熱設(shè)備的輸出電流(工作頻率:13.56MHz;Io=Ia-Ig):當(dāng)Va=6kV(或額定陽極電壓)時(shí),Io<2A(或額定陽極電流);當(dāng)Va=8kV(或額定陽極電壓)時(shí),Io<1.5...
|