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    FA/O拋光液與拋光技術(shù)

    2004年 應(yīng)用技術(shù)
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    該產(chǎn)品是硅襯底與ULSI多層布線介質(zhì)與銅拋光液與拋光技術(shù),粒徑15-30mm,選擇性高、速率快、易清洗。...

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