新型集成光路結構光譜儀及其集成光路組件的制備方法

2004年

應用技術

成果簡介

該發明屬于新型集成光路結構光譜儀及其集成光路組件的制備方法。該發明由光源、透鏡、信號處理、硅基片、樣品窗口、光波導薄膜、棱鏡和光波導襯底組成，該發明采用的制備方法將棱鏡制備于光波導薄膜下表面，用棱鏡－光波導結構取代光柵－光波導結構，提高了耦合效率和色散能力；造價低、應用范圍大；雜散光干擾少，光譜分辨率高；該發明是一種小型化、集成化、便于攜帶和高靈敏度的光譜儀。...

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新型集成光路結構光譜儀及其集成光路組件的制備方法

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