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    高速InGaAs光電探測器芯片

    2003年 應用技術
    • 成果簡介
    該課題對正面進光結構InP/InGaAsPIN光電探測器芯片進行了全面、系統(tǒng)的研究，開發(fā)了開管擴散工藝方法；設計了雙層增透膜，提高了光響應度；采用了電鍍加厚焊接電極；實現(xiàn)了低阻P型歐姆接觸。該研究達國際先進水平。...
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