高透明低光阻薄膜柔性基襯鍍膜技術和設備

2002年

應用技術

成果簡介

該項目是多學科交叉的綜合性技術，涉及諸多技術原理，主要有：1、ITO磁控濺射室溫成膜機理；2、介質-金屬-介質和介質-金屬-介質-金屬-介質光學匹配原理；3、隧道抽氣和氣氛軟隔離原理；4、膜厚和膜系組合與透光率的關系等。該項目技術和總體設計思路具有創新性、先進性、科學性和實用性，膜系設計新穎，實時監控方法創新、獨到，氣氛隔離結構緊湊、有效，設備配置合理，運行穩定可靠，工藝適用，重復性好。該技術屬國...

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高透明低光阻薄膜柔性基襯鍍膜技術和設備

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