ITO工業靶材的研究

2001年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

銦主要用于高新技術領域.由于銦錫氧化物（ITO）薄膜具有對可見光透明，導電和熱反射等特點，廣泛用于平面液晶顯示、太陽能電池和節能窗等領域。目前（ITO）膜主要是以銦錫氧化物燒結體為靶源，采用直流磁控濺射法生產。我國是平面顯示器件（TN-LCD）生產大國之一，但是生產ITO膜所需靶材全靠進口，這樣，一方面我國以初級品銦錠低價出口；另一方面又以高昂價格進口ITO靶材，因此，開發ITO靶材對合理...

相關成果

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2. ITO靶材
3. ITO導電薄膜濺射靶材
4. 納米級ITO粉體及高密度ITO靶材中試
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6. 銦錫氧化物靶材(ITO靶)
7. 導電玻璃用ITO靶材的研制及開發
8. 燒結氧化銦錫（ITO）靶材制備技術
9. ITO靶材再生高純銦生產技術開發
10. 氧化銦錫(ITO)超細粉體及靶材
12. SJG高阻靶材和SJZ中阻靶材
13. 濺射鍍膜靶材
14. ITO導電玻璃
15. 防劃傷柔性ITO（Hard-Coating ITO）透明導電薄膜
16. 稀土磁光靶材
17. ITO透明導電玻璃
18. ITO透明導電玻璃
19. ITO膜制備技術
20. ITO透明導電玻璃

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