在鈦酸鋇薄膜中鑲嵌納米級銀顆料的方法

2000年

應用技術

成果簡介

該發明公開了一種將尺寸可控的納米級銀顆粒鑲嵌在鈦酸鋇薄膜中的方法；先制備復合靶，再處理基底，及進行濺射，最后是熱處理。該發明通過調整銀片在復合靶中所占面積、實現對納米級銀顆粒尺寸的控制。所制備的復合膜中銀顆粒大小一致，均在納米量級，平均粒徑為8-70納米。用該發明方法制備的產品，能與半導體硅片兼容。所以，不僅可用于微電子器件集成電路中，還可用于非線性光學器件及量子器件中。...

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在鈦酸鋇薄膜中鑲嵌納米級銀顆料的方法

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