離子束濺射鍍膜機

2001年

應用技術

成果簡介

該離子束濺射鍍膜裝置由鍍膜室、離子槍、旋轉靶、襯底夾持架等組成。該鍍膜機結構如下：鍍膜室為圓筒形，離子槍位于鍍膜室頂部，鍍膜室中部傾斜45°角安裝旋轉把；離子槍引出柵軸心線與旋轉把一面靶材中心點位于同一垂直軸線上；鍍膜室中部同一高度向右側安裝襯底夾持架，在其上樣品表面與反射束流方向垂直；離子槍與旋轉靶及旋轉靶與襯底夾持架間裝有擋板；鍍膜室底部與真空抽氣裝置連接。該鍍膜機操作方便，鍍膜質量高，可用于...

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離子束濺射鍍膜機

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