2001年 應(yīng)用技術(shù)
這是一種基于散射原理對(duì)不透明材料內(nèi)部微／納米級(jí)體缺陷進(jìn)行檢測(cè)的方法，屬于無(wú)損檢測(cè)領(lǐng)域。該檢測(cè)方法用針對(duì)被檢測(cè)材料透明或半透明的光源，發(fā)出波長(zhǎng)為0.8-11.6μm的光束經(jīng)小孔空間濾波后，進(jìn)入聚焦系統(tǒng)聚為一微細(xì)光束。將該微細(xì)光束打入被測(cè)材料內(nèi)部，通過(guò)三維超精密工作臺(tái)移動(dòng)被測(cè)材料，實(shí)現(xiàn)聚焦激光束焦點(diǎn)對(duì)材料內(nèi)部各層面的掃描。將圖象傳感器放在與由激光器、小孔及聚焦系統(tǒng)構(gòu)成的光軸垂直的方向上接收散射光，由散...
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