絕緣體上的硅高溫超高壓力傳感器的制作方法

2001年

應(yīng)用技術(shù)

成果簡介

該發(fā)明是絕緣體上的硅高溫超高壓力傳感器的制作方法。這種傳感器又稱為S01硅高溫超高壓力傳感器，屬于電子信息領(lǐng)域。該發(fā)明提供的方法最關(guān)鍵是采用S01技術(shù)解決敏感元件和彈性元件的高溫電隔離，以硅和耐熱玻璃環(huán)的靜電鍵合為邊界的鉗制條件實現(xiàn)高量程和高線性輸出。用該方法制作的壓力量程在40-100MPa以上的高溫超高壓力傳感器具有優(yōu)于0.15％的非線性和大于100mV的滿量程輸出，以及小于0.1％的遲滯。...

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