LED液相外延片及芯片生產關鍵技術研究

2001年

應用技術

成果簡介

該項目研究成功磷化鎵紅光、綠光外延片，這是制造普通紅色、綠色LED發光二極管的核心材料，改變了中國該類產業完全依賴進口的被動局面，填補了國內該產品的空白。還研制了M8611-1/UM型液相外延系統，這是液相外延必備設備，只需稍加改動就可用于GaAs.InP等液相外延片的研制與生產。磷化鎵紅色、綠色發光二極管仍是LED產品中用量最大的一種，工廠正準備在該研究成果基礎上迅速擴產，逐步實現外延片產業化。...

相關成果

1. 磷化鎵（GaP）紅光液相外延片生產關鍵技術
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3. AlGaInP橙黃光高亮度LED外延片及LED管芯
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5. LED外延片檢測系統
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10. 用于光電產品的外延片和芯片
12. 同質外延超大功率單芯片LED 產業化
13. 藍光LED外延生長技術
14. 液相外延生長薄膜襯底夾具
15. 磷化鎵液相外延材料
16. 硅反外延片
17. 3英寸AlGaInP紅、橙、黃光超高亮度LED外延片
18. 外延PDP行驅動芯片
19. 基于同質外延技術的超大功率單芯片LED產業化
20. 多片立式旋轉液相外延石墨舟

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LED液相外延片及芯片生產關鍵技術研究

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