2001年 應(yīng)用技術(shù)
該項(xiàng)目持有方為清華大學(xué)。一種基于散射原理對(duì)不透明固體材料內(nèi)部微/納米級(jí)體缺陷的檢測(cè)方法，其特征是用針對(duì)被檢測(cè)材料透明或半透明的光源，發(fā)出波長(zhǎng)為0.8-11.6μm單色的激光光束經(jīng)小孔空間濾波后，進(jìn)入聚焦系統(tǒng)聚為一微細(xì)光束，將此微細(xì)光束打入被測(cè)材料內(nèi)部，通過(guò)三維超精密工作臺(tái)移動(dòng)被測(cè)材料，實(shí)現(xiàn)聚焦激光光束焦點(diǎn)對(duì)材料內(nèi)部各層面的掃描，將圖像傳感器放在與由激光器、小孔及聚焦系統(tǒng)構(gòu)成的光軸垂直的方向上接收散...
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