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    大面積光學質量(光學級)金剛石膜制備加工及應用

    2001年 應用技術
    • 成果簡介
    采用DC Arc Plasma Jet CVD工藝在氣體循環狀態下成功制備了大面積高光學質量(光學級)金剛石自支撐膜。拋光金剛石膜樣品從紫外(0.2mm)直至遠紅外(25mm)完全透明,在整個紅外區域透過率接近71%,熱導率最高達18.5w/cm.K。接近天然Ⅱa型金剛石單晶水平。目前光學級透明金剛石自支撐膜最大面積j60mm。工具級金剛石自支撐膜最大面積j100mm,最大厚度2mm。100千瓦級...
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