位相型長焦深超分辨光闌

2005年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

一種位相型長焦深超分辨光闌，它是由透明材料構成的平行平板上含有與光闌同心的凹帶環或凸帶環。光束通過帶凹或凸帶環的光闌后，與通過凹帶環或凸帶環以外的光束在光程上相差半個波長，也就是在空間位置上相差3.14。則沿軸向空間峰值像消，實現焦深的延長。沿徑向其邊緣相消，實現分辨率的提高。焦深延長倍數高于三倍。廣泛應用于微電子加工，光刻機技術和掃描顯微鏡技術中的聚焦或成像系統中。...

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位相型長焦深超分辨光闌

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