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    濺射型應變式合金薄膜壓力傳感器

    2001年 應用技術  中期階段
    • 成果簡介
    1、任務的來源與背景
    本項目來源于“武漢市科技計劃項目”,其編號是“武計科2000-4”。國內對高精度高性能傳感器需求量很大,主要依賴于進口。本項目產品立足于取代進口產品。
    2、技術原理與性能指標
      技術原理:濺射型應變式合金薄膜壓力傳感器采用了先進的氮化離子流復合成膜技術和集成電路微細圖形的加工技術,將惠斯登電橋的四個應變柵片直接依附...

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