4S/4.3S高精度平面研磨機

2002年

應用技術

成果簡介

該研磨機主要用于石英晶體研磨以及鉛石、玻璃等高硬材料的雙面研磨。該研磨機為四軸傳動，四根傳動軸，分別帶動上研盤、下研盤、太陽輪和外齒圈。由太陽輪、外齒圈和游星輪組成行星結構，帶動裝在游星輪孔中的石英晶體作行星運動，從而使得石英晶體片在上、下研盤的作用下實現雙面均勻研磨，從而獲得整盤晶片良好的平行度及很小的厚度差。4s型研磨機最薄研磨厚度為40μm，整盤晶片的厚度差為0.6μm；4.3s機型的最薄研...

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4S/4.3S高精度平面研磨機

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