紫外吸收材料表面制作光柵的方法和制品

2003年

應用技術

成果簡介

在紫外吸收材料表面制作光柵的方法和制品，與傳統的光刻和電子束刻蝕不同，該發明是通過對準分子激光脈沖的光束調制，直接在材料表面刻蝕出周期結構，即光柵，用光學和原子力顯微鏡檢測光學表面，可見該種光柵不僅具有良好的周期性，而且刻槽為光滑的波紋狀，由于該發明僅使用單個準分子激光脈沖，其作用時間為幾十納秒，所以對環境要求不高，加上實驗裝置簡單可靠，制作過程快捷，有利于工業化制作光柵濾波器，光柵耦合器，光柵透...

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紫外吸收材料表面制作光柵的方法和制品

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