2001年 應(yīng)用技術(shù)
該工藝線是由進(jìn)口儀器設(shè)備裝備的半導(dǎo)體集成電路及器件芯片加工生產(chǎn)線。可從事雙極電路、CMOS電路、功率器件及結(jié)型場效應(yīng)器件的加工，月生產(chǎn)能力為4英寸片5000片。該生產(chǎn)線于1998年4月通過了ISO9002質(zhì)量體系認(rèn)證，生產(chǎn)過程采用SPC統(tǒng)計技術(shù)進(jìn)行控制。雙極電路加工生產(chǎn)：具有完整的雙極電路加工生產(chǎn)的全部工藝：光刻、埋層擴散、外延、隔離、磷穿透、基區(qū)離子注入、發(fā)射區(qū)擴散、電子束蒸(或濺射)鋁、表面鈍...
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