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    微結構熱偶型微波功率傳感器

    2001年 應用技術
    • 成果簡介
    熱偶型微波功率傳感器的原理是熱電偶熱結吸收微波功率溫度升高,在冷熱結之間產生溫度差,利用熱電偶的熱電效應,再將溫度差轉化為熱電勢輸出。中科院電子所傳感技術國家重點實驗室采用最先進的微電子機械系統(MEMS)制造技術,研制出一種新型三維微結構高靈敏度半導體-金屬薄膜熱偶敏感元件并同有特色的微波傳輸線路相結合,組成新一代的微波功率傳感器。這種傳感器不僅靈敏度高,而且檢測頻帶寬、精度高、響應快、可靠性好...

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