2001年 應(yīng)用技術(shù)
微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)是在微電子器件制造工藝技術(shù)基礎(chǔ)上進(jìn)一步融入微機(jī)械加工技術(shù)，并把兩者結(jié)合起來(lái)的微制造技術(shù)；加工尺度在微米、納米級(jí)。基于MEMS技術(shù)把傳統(tǒng)的生物、化學(xué)反應(yīng)實(shí)驗(yàn)過(guò)程在硅片或玻璃片上實(shí)現(xiàn)，即芯片上的實(shí)驗(yàn)室，是當(dāng)今研究和開發(fā)的一個(gè)熱門。中國(guó)科學(xué)院電子學(xué)研究所傳感技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室采用最先進(jìn)的MEMS制造技術(shù)，在國(guó)家自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目的資助下，研制出幾種生物芯片試樣器件，比如集...
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