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GYG1400系列高頻動態壓力及自由場動壓傳感器

2003年

應用技術

成果簡介

這是用先進的微機械加工技術制作的專用壓阻力敏芯片按齊平膜片結構或準齊平結構設計，避免了管腔效應影響，并盡量了減小了芯片有效尺寸，具有高固有頻率特性，用于各種高頻動態壓力測量或爆炸力學自由場測量的科儀級高精度特種壓力傳感器。它們有CYG1400、1401高頻動壓傳感器；CYG1402、1403高溫高頻動壓傳感器；CYG1404、1405微小型高頻動壓傳感器，CYG1406、1407、1408爆炸自由...

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GYG1400系列高頻動態壓力及自由場動壓傳感器

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