大量程納米級分辨率光柵位移傳感器

2002年

應用技術

成果簡介

該技術實現了大量程高分辨率位移測量，量程為100mm-500mm。通過改進光路設計，獲得倍數(10-20倍)光學細分，如果該位移傳感器配以高倍數的電子細分技術，可以實現納米級的位移測量分辨率。該傳感器可以廣泛應用于位移精度測量的場合，如超精加工機床、加工中心、三坐標測量機(CMM)等。應用范圍為超精加工、精密檢測等領域。...

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大量程納米級分辨率光柵位移傳感器

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