脈沖直流PCVD工模具表面強(qiáng)化的技術(shù)原理是:在專用的PCVD設(shè)備中,在一定的溫度、氣壓條件下通入一定比例的工作氣體,利用等離子場(chǎng)的能量,促成化學(xué)反應(yīng),在工模具表面形成耐熱、超硬強(qiáng)化層。研制出的專用PCVD設(shè)備采用獨(dú)特設(shè)計(jì)的內(nèi)熱式加熱系統(tǒng),真空室內(nèi)安裝發(fā)熱器件,比外熱式顯著提高了熱效率及加熱速率;逆變式脈沖直流電流頻率范圍大、負(fù)脈沖深度可調(diào),有利于制備導(dǎo)電性不良或絕緣的鍍層;流量控制系統(tǒng)采用5路質(zhì)量...
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