硅壓力傳感器

2002年

應用技術(shù)

成果簡介

該項目設計研制出兩種結(jié)構(gòu)的大量程硅壓力傳感器，一種是全橋型結(jié)構(gòu)量程為15MPa和20MPa，另一種是新型的X型結(jié)構(gòu)，量程為10MPa。制備中將Si_3N_4新工藝技術(shù)應用于壓力傳感器上。投資環(huán)境預：設備：氧化、擴散、光刻、氧化硅生成、蒸鋁、反刻、劃片、壓焊、封裝、測試。資金：50-100萬元；場地：200m^2；成本：200-250元/只。...

相關(guān)成果

1. 微型硅壓力傳感器
2. OEM硅通用壓力傳感器
3. 擴散硅固態(tài)壓力傳感器
4. SOI硅高溫壓力傳感器
5. 硅微諧振式壓力傳感器
6. 硅敏感芯片壓力傳感器芯體
7. SC－75擴散硅壓力傳感器
8. 納米硅薄膜微壓力傳感器芯片
9. SOI硅壓阻式壓力傳感器
10. SG--75型擴散硅壓力傳感器
12. 工業(yè)變送器用擴散硅壓力傳感器
13. YZ-1型硅壓阻型集成壓力傳感器
14. 高精度智能硅壓力傳感器制造產(chǎn)業(yè)化
15. 諧振式硅微結(jié)構(gòu)壓力傳感器優(yōu)化設計與閉環(huán)系統(tǒng)實現(xiàn)
16. 絕緣體上的硅高溫超高壓力傳感器的制作方法
17. 壓力傳感器
18. 汽車壓力傳感器
19. 納米壓力傳感器
20. 無腔壓力傳感器

精品福利一区二区三区免费视-精品福利一区二区三区免费视频-精品福利一区二区在线观看-精品高潮呻吟99AV无码-精品高潮呻吟AV久久无码-精品高精欧美囯产日韩一区

硅壓力傳感器

標簽云

猜您想要的成果

相關(guān)專家

相關(guān)機構(gòu)


	選擇導出文檔的格式關(guān)閉 PDF PDF RTF(word文檔) TXT(純文本)


	提示信息關(guān)閉發(fā)送短信成功


	提示信息關(guān)閉發(fā)送短信失敗


	提示信息關(guān)閉發(fā)送郵件失敗


	提示信息關(guān)閉郵件發(fā)送成功