微電子工藝設(shè)計(jì)的MS-PC實(shí)用化研究

2000年

應(yīng)用技術(shù)

成果簡介

該項(xiàng)目為山東省科委立項(xiàng)課題，該成果在微電子集成工藝和半導(dǎo)體器件特性分析CAD系統(tǒng)的PC化平臺開發(fā)上取得一系列成果。所完成的微電子工藝及器件PV WDZ CAD+CAI FOR CWINDOWS交互系統(tǒng)版本填補(bǔ)了國內(nèi)空白。該成果還成功地完成了一系列實(shí)際命題的計(jì)算機(jī)模擬研究，主要有：實(shí)現(xiàn)了金屬氧化物半導(dǎo)體場效應(yīng)器件PMOS晶體管的柵氧工藝模擬及3CG180Si-PNP晶體管的單管全工序模擬；對金屬氧化...

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微電子工藝設(shè)計(jì)的MS-PC實(shí)用化研究

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