2002年 應(yīng)用技術(shù)
產(chǎn)品功能及應(yīng)用領(lǐng)域：主要用于制備新型薄膜材料，如半導(dǎo)體膜、光學(xué)膜、磁性膜等。可廣泛應(yīng)用于高速計算機(jī)、微波通訊、光通訊、信號處理和雷達(dá)系統(tǒng)等領(lǐng)域。技術(shù)特點：改單靶為對靶濺射，節(jié)省了靶材，提高了材料的利用率。同時在直流電源的基礎(chǔ)上增加了射頻電源，使該系統(tǒng)既能鍍導(dǎo)體膜，又可鍍絕緣膜。與國內(nèi)外同類產(chǎn)品比較：該項目已經(jīng)通過技術(shù)鑒定，質(zhì)量穩(wěn)定、技術(shù)先進(jìn)，經(jīng)過用戶多次使用，深受歡迎。處于國內(nèi)領(lǐng)先地位，達(dá)到國際同...
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