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    MOCVD GAAS基半導體微結構材料

    2002年 應用技術
    • 成果簡介
    HBT(異質結雙極晶體管)是80年代出現的一種新型異質結微電子器件,經過十多年的發展,它在軍用及民用領域得廣泛應用,特別是在高速數字電路及微波電路中,具有主導地位。HBT的關鍵技術之一是其外延材料的研制、它是決定HBT發展的基礎。該攻關通過MOCVD技術研制、生產HBT所需要的異質結外延材料,滿足HBT及電路研制的需求,使中國在HBTMOCVD微結構材料上達到90年代國際水平Φ3"MOCVDGaA...
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