多層異質結GaAs/Al_XGaAs,GaAs/Si應變層及其界面的研究

1997年

應用技術

成果簡介

研究了多層異質結GaAs/AlxGaAs，GaAs/Si應變層的界面，微孿晶、層錯，成分和結構。在國內外首先發現起伏平滑效應，微孿晶三倍財期條紋，提出了雙在子臺階模型，層錯的判別法。確定了GaAs/AlxGaAs的最佳生長方向，微孿晶分布及尺寸和位錯計算。在國內率先對NEA多層GaAs/AlxGaAs進行了深入系統全面的分析研究。...

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多層異質結GaAs/Al_XGaAs,GaAs/Si應變層及其界面的研究

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