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低溫高性能BICMOS電路研究

2001年

應用技術

成果簡介

低溫BiCMOS電路是實現高速大驅動能力電路重要途徑之一。技術原理及工藝流程：技術特點：選用了結構、工藝與CMOS器件完全相同的混合模式晶體管作為BiCMOS的雙極器件，很好地克服了工藝不兼容的問題，簡化了工藝，降低了成本；利用混合模式晶體管h_(EF)的負溫度系數特性，在低溫獲得超啟h_(FE)值，提高了其低溫下的驅動能力；利用含有混合模式晶體管的三管反相管單元，為研制低溫BiCMOS各種應用電...

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低溫高性能BICMOS電路研究

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