2001年 應用技術
該壓電微位移驅動器是由特種壓電陶瓷制成，其電壓-位移特性優良；線性好、滯后小、重復穩定，可加正負向電壓對稱利用正、負位移，控位精度高，主要性能達到了國際先進水平。主要技術指標：應變量±2×10^(-4)，工作電壓<±1000V(由應用情形而定 )，滯后量2%，控位精度0.01-0.02m。推廣應用前景與市場預測：可應用于精密光學、激光、通訊技術、大規模集成電路光刻等設備的精密定位、自動化控制。對某...
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