2002年 應(yīng)用技術(shù)
中期階段 該研究是國(guó)家“九五”“八六三”高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃課題（863－715－003－0042）的重要組成部分。微位移致動(dòng)器是實(shí)現(xiàn)微米、亞微米及納米尺度超高精度位置執(zhí)行與控制的傳感和執(zhí)行器。它帶動(dòng)了諸如：超大規(guī)模集成電路加工，精密光學(xué)儀器控制，超精細(xì)加工，顯微分析，人工智能控制等行業(yè)的飛速發(fā)展，在國(guó)防、微電子、航空、航天等領(lǐng)域有極為重要的作用。本項(xiàng)目采用磁懸浮冷坩堝提拉稀土鐵超磁致伸縮單晶材料技術(shù)...
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