非接觸式表面形貌檢測裝置研制

1998年

應用技術

成果簡介

該成果用于亞微米超精加工中的質量檢測，主要測量參數包括粗糙度、直線度、平面度和三維形貌等。該研究的創新點主要有：采用雙頻激光分離光點超外差干涉原理所研制的超精密激光測頭，通過相位細分保證0.5納米的分辨力和高的穩定性，通過共模抑制作用使輪廓高度的測量精度達到±2mm。采用分離光點的探測方式，使該儀器除了可以測量表面的微觀不平度之外，還可以測量微小臺階、直線度和平面度等參數。所研制的“表面微觀形...

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非接觸式表面形貌檢測裝置研制

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