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    幾種薄膜材料的應用基礎研究

    2001年 應用技術
    • 成果簡介
    在薄膜材料方面,中國科學院物理研究所用直流磁控濺射和原位熱處理法制得的釔鋇銅氧和軋鋇銅氧外延超導薄膜,電子衍射圖表明薄膜是C-軸取向,而且單晶性強,其零電阻臨界溫度T_C≥92K,臨界電流密度J_C達到3.8×10^6安/厘米^2。薄膜的質量和工藝重復性達到了國際先進水平。在薄膜器件方法,中國科學院物理研究所研制成功地高溫超導微波通濾波器和軋鋇銅氧薄膜紅外探測器,其性能分別達到和接近國際先進水平;...

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