2005年 應(yīng)用技術(shù)
針對如何利用現(xiàn)有準分子激光加工機制造深寬比高、特征尺寸小、機械性能好的微結(jié)構(gòu)這一難題，圍繞激光、電化學(xué)與加工材料之間的耦合作用，將準分子激光微加工工藝、電化學(xué)微加工工藝融合在一起，在硅樣品上加工出最大孔徑小于50mm、平均孔徑為28mm，深度為530mm的錐形通孔。對準分子激光電化學(xué)微加工工藝中若干問題進行了系統(tǒng)的研究，取得了如下重要的加工特性：1)對準分子激光電化學(xué)刻蝕金屬的特性研究表明...
|
微信公眾號
服務(wù)熱線
微信公眾號
服務(wù)熱線
