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    陣列式光學探針掃描集成電路光刻方法

    2004年 應用技術
    • 成果簡介
    本發明屬于微細工程制造領域，該方法使用陣列式光學探針掃描光刻制作集成電路，達到的集成電路的最小線寬可小于0.1μm，同時具有速度快、效率高的特點，并大大簡化了集成電路的制作工藝，為超大規模集成電路的制作提供了一種新的有效的途徑。...
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