用于集成電路芯片檢測的比例差值譜技術及譜分析系統

2004年

應用技術

成果簡介

一、項目概述
隨著大規模集成化芯片上的器件尺寸微型化，為解決微尺度的各種功能器件的關鍵電參數的直接提取和建立一種在線的綜合檢測與分析技術，該項目運用獨創的專利技術——比例差值譜技術揭示了微尺度器件的一種本征特性——比例差值特性。經過嚴格的理論與實驗證明，只要代表元器件性能的表征函數滿足比例差值譜函數定理，那么元器件的比例差值譜特性具有譜峰，其譜峰的數量，各譜峰的...

相關成果

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7. 集成電路芯片分析驗證系統Chipsmith
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13. 檢測DNA芯片制造技術
14. 用于粘片機的檢測及控制系統
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20. 可用于RFID應用系統的安全協處理芯片

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用于集成電路芯片檢測的比例差值譜技術及譜分析系統

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