一維MEMS微鏡靜電彈性耦合

2005年

應用技術

成果簡介

MEMS微鏡結構中硅材料的彈性變形不能忽略。對靜電驅動一維MEMS微鏡中的靜電彈性耦合問題進行了研究，分析了電極板的偏轉變形與靜電力的相互影響。為低品質因數的一維微鏡系統建立了動態和靜態模型，動態模型為一維擴散方程，靜態模型由二階微分方程表示。利用建立的模型對靜電彈性耦合一維微鏡系統的穩態特性進行分析，得出結論：靜電力與彈性力的相對強度入有一個臨界值，當λ處于臨界值以上時，系統將沒有穩態解...

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一維MEMS微鏡靜電彈性耦合

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