MEMS部件設計仿真庫系統

2005年

應用技術

成果簡介

軟件是用于制造業、微電子行業MEMS研究開發的輔助設計CAD軟件系統。軟件主要針對MEMS中靜電驅動器的典型結構進行數值模擬，提供了三層極板結構靜電驅動器、兩層結構1/4圓形下電極靜電驅動器以及兩層結構方形下電極靜電驅動器的結構尺寸輔助設計，同時與虛擬顯示環境相結合，實現虛擬設計和模擬的功能。
本成果提供一個MEMS部件設計仿真庫系統，已經申請軟件著作權，并給出了若干種...

相關成果

1. 基于部件庫的MEMS設計環境原形系統研究與實現
2. 基于虛擬現實技術的具有部件庫的MEMS設計環境研究
3. MEMS封裝工藝模擬與仿真庫
4. 基于IP庫的通用MEMS器件可視化仿真與驗證工具
5. MEMS系統級設計方法
6. MEMS設計方法
7. 基于體積圖形學的MEMS工藝仿真系統
8. MEMS系統級三維組件庫建模通用方法與技術
9. MEMS加工與封裝建模、模擬與IP庫
10. 微機電系統(MEMS)集成設計平臺
12. MEMS設計關鍵技術及器件
13. MEMS器件真空封裝工藝模擬軟件與IP庫
14. VLSI設計綜合仿真系統的開發
15. MEMS運動測試系統
16. 基于知識的車身部件設計系統的開發
17. 機械產品設計三維仿真系統
18. 生產線調度、布局設計與仿真系統
19. 基于虛擬現實技術的MEMS設計環境
20. 模擬電路快速仿真軟件和模型庫

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MEMS部件設計仿真庫系統

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