1×2、2×2、4×4、1×8、8×8系列MEMS光開關及制造方法

2005年

應用技術

成果簡介

本研究屬于一個新技術在產品中的應用開發，這項新技術是MEMS技術，硅MEMS加工技術具有與微電子技術的兼容性，利用硅MEMS技術開發的產品具有批量、成本低、集成度高等共同的特點，另外MEMS光開關是一種全光開關(O-O-O)，不需要復雜的光電轉換，即它在路由和復原光傳輸信號時會始終保持信號的光形式，其性能也不依賴于傳播光的波長和信號傳輸速率，研制的8×8微機械光開關與傳統的機械式光開關相比...

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1×2、2×2、4×4、1×8、8×8系列MEMS光開關及制造方法

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