2005年 應用技術
直徑12英寸硅片主要應用于線寬在0.13微米以下的集成電路（IC）。該課題開發出從單晶生長到晶片加工和檢測的具有自主知識產權的成套技術，產品技術指標達到了國際先進水平，樣片的質量已滿足客戶需求。
2005年底將建成我國首條直徑12英寸硅單晶拋光片生產線，月產達到10000片能力，促進我國12英寸集成電路制造業的發展，為國內超大規模集成電路配套材料產業鏈的形成做出重要貢獻... 
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