紅外焦平面探測器的銦柱成球方法

2006年

應用技術

中期階段

成果簡介

本發明的紅外焦平面探測器的銦柱成球方法是采用氬等離子體和含蟻酸氣體的氮氣流來取代助熔劑的銦柱回熔成球技術。在銦柱回熔過程中，氬等離子體和含蟻酸氣體的氮氣流是在同一個腔室內完成對銦柱回熔處理的。氬等離子體主要是用于預清洗樣品和擊碎銦柱表面的氧化層；含蟻酸的氮氣流是用以去除銦柱內銦晶粒間界面氧化層以加速銦柱回熔成球過程，并降低銦回熔的溫度。這種無助熔劑的銦柱成球技術，避免了助熔劑在回熔后會侵蝕...

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紅外焦平面探測器的銦柱成球方法

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