硅片缺陷自動檢測儀研制

2006年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

“硅片缺陷自動檢測儀”包括激光光源系統、散射光收集系統、硅片螺旋掃描系統、光電檢測和電子學處理系統以及計算機控制系統等幾部分。在傾斜入射激光掃描散射檢測技術，高效率大數值孔徑散射光收集和光電檢測技術，提高探測靈敏度和獲得高的信噪比關鍵技術等方面取得突破。“硅片缺陷自動檢測儀”原理樣機研制成功，對于改變我國大規模集成電路專用檢測設備長期依賴進口局面、研制和開發具有自主知識產權的國產化設備取得...

相關成果

1. 硅片及硅外延片表面缺陷魔鏡檢測儀
2. 太陽電池組件硅片缺陷紅外檢測儀
3. 傾斜入射光散射式硅片表面缺陷檢測儀
4. 硅片外延線性缺陷的測定方法
5. 大直徑直拉硅片雜質缺陷的控制與利用
6. 太陽能硅片自動化刻槽機的研制
7. 背面軟損傷硅片研制(技術)
8. 集成電路用P型硅片的缺陷控制與利用
9. 多芯電纜自動檢測儀研制
10. 鋼管缺陷X光自動標識及定位裝置研制
12. 太陽電池片缺陷紅外檢測儀
13. 電磁超聲導波缺陷檢測儀器備
14. 12英寸硅片包裝容器的研制
15. 自動血壓呼吸檢測儀
16. 多通道便攜式漏磁材料缺陷檢測儀
17. 快速熱處理對大直徑硅片空洞型微缺陷及內吸除效應的影響
18. 視力自動檢測儀
19. 絨線檢測儀的研制
20. 鑄件內部缺陷自動分析識別技術

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硅片缺陷自動檢測儀研制

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