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    引進ZYGO600mm干涉儀項目

    2006年 應用技術  成熟應用階段
    • 成果簡介
    該項目為神光系列裝置大尺寸光學元件的順利供貨提供基本的檢測條件，對提升上海及周邊地區大尺寸平板光學元件的光學加工和檢測能力有著非常大的推動作用。...
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