2006年 應(yīng)用技術(shù)
成熟應(yīng)用階段 本項(xiàng)目為保證小體積、高真空器件的長(zhǎng)壽命和高可靠性而專門研制，成果可應(yīng)用于各種高真空密封器件高可靠密封質(zhì)量的檢測(cè)，并為極高真空未來的發(fā)展準(zhǔn)備了條件。
本項(xiàng)目采用靜態(tài)累積法通過四極質(zhì)譜計(jì)實(shí)現(xiàn)超靈敏檢漏。在研制過程中，采用了當(dāng)代超高真空技術(shù)的最新成果，設(shè)計(jì)了全金屬超高真空系統(tǒng)，采用小型分子泵與薄膜泵機(jī)組為主分子泵的前級(jí)泵；濺射離子泵在主分子泵關(guān)閉時(shí)始終維持系統(tǒng)的超高真空；利用... 
|
微信公眾號(hào)
服務(wù)熱線
微信公眾號(hào)
服務(wù)熱線
