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    半導體器件(VLSI)金屬化布線電徙動動力學研究

    1998年 應用技術
    • 成果簡介
    項目名稱:半導體器件(VLSI)金屬化布線電徙動動力學研究
    本項目屬于半導體器件與微電子技術領域。
    本項目從電徙動動力學角度出發,深入研究了金屬化電徙動失效機理.電徙動參數測量技術和壽命評估方法,并提出了回流加固理論模型和新的抗電徙動技術。其主要內容為:
    1)建立了回流效應抑制電徙動的理論模型,國內外首次提出金屬化回流加固技術...
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