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    微小尺寸測量理論與技術的研究

    1998年 應用技術
    • 成果簡介
    微小尺寸測量技術屬于測試計量儀器學科,它是新興的發展迅速的重要的學術領域,它的理論與技術涉及面廣、難度大,是多學科交叉的前沿,形成測量學科的重要分支,是微米/納米技術的發展支柱和重要組成部分。適用于微電子、微型機械、精密機械、生物工程等。
    本項目對微小尺寸測量理論和技術進行了長期、系統和深入地研究。
    主要研究內容:
    1.系統地總結...

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