1998年 應(yīng)用技術(shù)
本成果解決了現(xiàn)有技術(shù)存在的勢(shì)壘模型歐姆接觸和串聯(lián)電阻問題，成為最新一代測(cè)試系統(tǒng)。它具有測(cè)量范圍寬、誤差小、使用簡(jiǎn)便快速和不損傷試樣等特點(diǎn)。適用于硅外延片生產(chǎn)過程的在線測(cè)試，特別是檢測(cè)大尺寸（＞Φ3″）試樣，優(yōu)越性更加明顯。據(jù)檢索國(guó)內(nèi)外文獻(xiàn)均未見類似報(bào)道，認(rèn)定是一項(xiàng)創(chuàng)新技術(shù)。
項(xiàng)目創(chuàng)新：創(chuàng)新點(diǎn)兩極汞探針與場(chǎng)感應(yīng)勢(shì)壘。用途電子材料硅外延片生產(chǎn)在線測(cè)試。... 
|
微信公眾號(hào)
服務(wù)熱線
微信公眾號(hào)
服務(wù)熱線
