8cm多功能寬束離子源及其技術

1997年

應用技術

成果簡介

該寬速離子源可產生20～3000ev強流大面積離子束，用于離子束輔助鍍膜、離子束濺射鍍膜及離子束直接鍍膜，現已用于光學薄膜的離子束輔助鍍膜批量生產，類金剛石薄膜及固體潤滑膜的制備，以及宇航軸承材料的表面強化等多種薄膜工藝，還可用于塑料鍍膜及離子束刻蝕、清洗等微細加工工藝，還可用于離子注入機的工作清洗和離子反沖注入，使用時只需要鍍膜配備一臺寬束離子源，對其他零部件不必作任何更動，易于推廣，更...

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8cm多功能寬束離子源及其技術

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