2005年 應(yīng)用技術(shù)
中期階段 一、任務(wù)來源
用VHF-PECVD技術(shù)研制大面積硅基薄膜，來源于國家重點(diǎn)基礎(chǔ)研究發(fā)展規(guī)劃（973）項(xiàng)目《低價(jià)、長壽命新型光伏電池的基礎(chǔ)研究》02課題《穩(wěn)定獲得大面積高穩(wěn)定非晶硅電池及其實(shí)用化技術(shù)基礎(chǔ)研究》(G2000028202)、03課題《器件質(zhì)量級低溫晶化硅薄膜材料及穩(wěn)定非晶硅/低溫晶化硅疊層電池的研究》(G2000028203)中的研究內(nèi)容，是由南開大學(xué)承擔(dān)的。 ... 
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